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電動超高真空插板閥主要技術(shù)性能適用范圍 Pa 1×10-7 -105 漏率 Pa.1/s DN≤200時 ≤1.3×10-7 DN≥250時 ≤6.7×10-7 介質(zhì)溫度 ℃ ≤150(傳動裝置除外) 電源電壓Pa 220/50 開閥時閥板兩側(cè)壓力差Pa ≤2.7×103
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