中圖儀器雙頻激光干涉檢測(cè)儀設(shè)備具有完整的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)頻精度≤0.04ppm，測(cè)量精度0.5ppm，測(cè)量距離達(dá)80米。以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，是高精度、高靈敏度測(cè)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3d打印設(shè)備、機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備、線(xiàn)性位移平臺(tái)等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、精度高

sj6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2. 功能廣

可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；

可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等；

可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

3. 軟件強(qiáng)

友好的人機(jī)界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊；

向?qū)�式的操作流程�?/p>

簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

中圖儀器雙頻激光干涉檢測(cè)儀設(shè)備可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測(cè)量，用于檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、自動(dòng)化設(shè)備、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線(xiàn)度、垂直度等，以及進(jìn)行數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精度補(bǔ)償。

測(cè)量機(jī)床直線(xiàn)度

測(cè)量機(jī)床偏擺角度

回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量

中圖儀器雙頻激光干涉檢測(cè)儀設(shè)備主要由sj6000激光干涉儀主機(jī)、角度鏡組、wr50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、sj6000回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件構(gòu)成。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。測(cè)量分辨率可達(dá)0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)wr50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。